000 01600nam0a2200313 4500
001 RU\NLR\bibl\746550
005 20260407111024.0
021 _aRU
_b2004-32284п
_91296
035 _a(NLR Aleph) 000736381
090 _a794733
_c794733
100 _a20050408d2001 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПо материалам VI Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 15-17 окт. 2002 г.
_e[Сб. докл. и ст.]
210 _aН. Новгород
_cИзд-во ННГУ
_d2001
215 _a209 с.
_cил.
_d24
225 1 _aВестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского
_iСерия "Физика твердого тела"
_x1811-5926
_vВып. 1(6)
313 _aПредыдущее издание проверенно.
320 _aБиблиогр. в конце докл.
606 0 _aИонная имплантация
_jСъезды, совещания и т.п.
_91178469
_3RU\NLR\auth\66473928
686 _aВ373.1я431
710 1 2 _4070
_a"Физические и физико-химические основы ионной имплантации", всероссийский семинар
_d6
_f2002
_eНижний Новгород
_3RU\NLR\AUTH\8810062941
_9627457
801 0 _aRU
_bNLR
_c20050408
_grcr
801 1 _aRU
_bNLR
_c20050408
852 _aNLR
_jП7/2480
942 _cBOOK
980 _aNB