| 000 | 01601nam0a2200313 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1345512 | ||
| 005 | 20250615172124.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2009-3028 _9162 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001330643 | ||
| 090 |
_a798127 _c798127 |
||
| 100 | _a20090324d2008 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aДиффузионные процессы в микроэлектронной технологии _eучебное пособие _fВ.И. Чепурнов, В.А. Покоева, К.П. Сивакова _gФедер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Сам. гос. ун-т", Каф. электроники твердого тела |
|
| 210 |
_aСамара _cСамарский университет _d2008 |
||
| 215 |
_a45 с. _cил. _d21 |
||
| 313 | _aдиффузия в полупроводниках | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 45 (16 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aПолупроводники _jУчебные издания для высших учебных заведений _xДиффузия _92455956 _3RU\NLR\auth\661459809 |
|
| 686 | _aВ379.256я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aЧепурнов _bВ. И. _gВиктор Иванович _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aПокоева _bВ. А. _gВалентина Алексеевна _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aСивакова _bК. П. _gКсения Петровна _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20090324 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20090324 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||