| 000 | 01569nam0a22003011 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\4878680 | ||
| 005 | 20130426150507.6 | ||
| 021 |
_aRU _bП191-68 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 008825537 | ||
| 090 |
_a8249272 _c8249272 |
||
| 100 | _a20130426d1967 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aМетоды контроля, используемые в производстве тонкопленочных и твердых микросхем _eОбзор по материалам отечеств. и зарубежной печати за 1960-1965 гг. _fСост.: Невский, Ю.А., Нудельман, А.С., Трубецкой, А.И. _gМ-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. информации |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1967 |
||
| 215 |
_a62 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры научно-технической литературы по электронной технике _iСерия. Полупроводниковые приборы и микроэлектроника _eОбзор _v№ 12 (1966 г.) |
|
| 300 | _aНа обл. авт. не указаны | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 61 | ||
| 700 | 1 |
_aНевский _bЮ. А. _4220 |
|
| 701 | 1 |
_aНудельман _bА. С. _4220 |
|
| 701 | 1 |
_aТрубецкой _bА. И. _4220 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП10/3313 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||