| 000 | 01900nam0a2200421 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\149214 | ||
| 005 | 20250618050811.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2000-45946 _92118 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000146244 | ||
| 090 |
_a838305 _c838305 |
||
| 100 | _a20010320d2000 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОсобенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества _fЕ.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов и др. |
|
| 210 |
_aМ. _cИТЭФ _d2000 |
||
| 215 |
_a19, [1] с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fИн-т теорет. и эксперим. физики _v24-00 |
|
| 300 | _aРез. на англ. яз. | ||
| 313 | _aпроизводство ИС | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 18-20 | ||
| 606 | 0 |
_aКремний-диэлектрик, система _xПроизводство _92203750 _3RU\NLR\auth\661324124 |
|
| 606 | 0 |
_aКремниевые структуры _xПроизводство _92203752 _3RU\NLR\auth\661324125 |
|
| 610 | 0 | _aМикроэлектронные схемы интегральные - производство | |
| 675 |
_a621.382.049.771.14.002.3:546.28 _v3 _zrus |
||
| 686 |
_a47 _2rugasnti |
||
| 686 |
_a32.844.1 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ852-06 | ||
| 686 | _aЗ844.15-06 | ||
| 701 | 1 |
_aПрокопьев _gЕвгений Петрович _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aТимошенков _bС. П. _f1957- _gСергей Петрович _3RU\NLR\AUTH\770273920 _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aСуворов _gАлександр Леонидович _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRKP _c20010320 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bRKP _c20010320 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20010515 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||