000 01689nam0a22003131 4500
001 rc\4943487
005 20250612211927.0
021 _aRU
_bП885-68
035 _a(NLR Aleph) 008853929
090 _a8418166
_c8418166
100 _a20130426d1967 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aНарушение поверхности и отклонения ориентации, вызванные механической обработкой монокристаллов германия и кремния (резка, шлифовка, травление)
_dStörungstiefen und Orientierungsfehler beim Schneiden, Läppen und Ätzen von Germanium bzv. Silizium
_fFischer E.
_gМ-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. информации
210 _aМосква
_cБ. и.
_d1967
215 _a12 с.
_cил.
_d21
225 1 _aПереводы иностранной литературы
_iСерия "Технология и организация производства"
_vПер. № 39/ЭТ-1890
300 _aИсточник: "Feingeräte-Technik", 1966, II. № 2, s. 90-92, ill.
300 _aНа обл. авт. не указан
300 _aОтпеч. множит. аппаратом
320 _aБиблиогр.: с. 12
510 0 _aStörungstiefen und Orientierungsfehler beim Schneiden, Läppen und Ätzen von Germanium bzv. Silizium
_zrus
700 1 _aФишер
_bЕ.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП10/3406
942 _cBOOK
980 _aNB