| 000 | 01601nam1a22003131i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\INFOCOMM_322\NLR\5000184530 | ||
| 005 | 20260405115121.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 009590652 | ||
| 090 |
_a9248137 _c9248137 |
||
| 100 | _a20130219d1992 |||y0rusy50 ba | ||
| 101 | 0 |
_aeng _drus |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aMathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films _fA. A. Fursenko, T. A. Khantuleva, Yu. N. Makarov, M. S. Ramm |
|
| 210 |
_aSt.-Petersburg _cФТИ _d1992 |
||
| 215 | _d20 см | ||
| 225 | 1 |
_aPreprint _fRuss. acad. of sciences, A. F. Ioffe phys. techn. inst. |
|
| 300 | _aНа обороте тит. л.: Математическое моделирование процессов переноса реагентов в подложке в современных технологиях осаждения тонких пленок / А. А. Фурсенко и др. | ||
| 300 | _aНа обл. надзаг. на рус. яз. | ||
| 300 | _aРез. на рус. яз. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце томов | ||
| 606 | 0 |
_aТонкие пленки _xОсаждение _xМатематическое моделирование _91850851 _3RU\NLR\AUTH\661129977 |
|
| 620 | _aСанкт-Петербург | ||
| 686 |
_aЗ844.13-01с11 _2rubbk |
||
| 701 | 1 |
_8rus _7ba _aFursenko _bA. A. _f1927-2008 _gAleksandr Aleksandrovič _3RU\NLR\AUTH\7745550 _928486 |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfocomm _c20130219 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bINFOCOMM _gPSBO |
|
| 852 |
_aNLR _jТ95 Д-4/361 |
||
| 942 | _cBOOK | ||