| 000 | 01957nam0a2200409 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1662385 | ||
| 005 | 20260405161457.0 | ||
| 010 |
_a5-87911-095-8 _980 |
||
| 021 |
_aRU _b2010-48483 _93222 |
||
| 035 | _a(nilc)RSL-KNO-004699590 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001653668 | ||
| 090 |
_a937678 _c937678 |
||
| 100 | _a20100628d2009 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aПлазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях _fД. А. Карпов, В. Н. Литуновский |
|
| 210 |
_aСанкт-Петербург _cФГУП "Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры" _d2009 |
||
| 215 |
_a62 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзор _fГоскорпорация "Росатом", Федер. гос. унитар. предприятие "НИИ электрофиз. аппаратуры им. Д. В. Ефремова" _vО-104 |
|
| 300 | _aРез. на англ. яз. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 57-62 | ||
| 606 | 1 |
_aМатериалы _xПлазменная обработка _92165537 _3RU\NLR\auth\661303011 |
|
| 606 | 1 |
_aИонная имплантация _91178469 _3RU\NLR\auth\66473928 |
|
| 610 | 0 | _aплазменное нанесение покрытий | |
| 686 |
_aЗ844.1-060.7-1с3,0 _2rubbk |
||
| 686 | _aЖ624 | ||
| 686 | _aВ373.1 | ||
| 700 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aКарпов _bД. А. _cхимик _gДмитрий Алексеевич _3RU\NLR\auth\7767957 _950885 |
|
| 701 | 1 |
_aЛитуновский _bВ. Н. _gВладимир Николаевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bРГБ _c20100628 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bРГБ _c20100628 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20100810 _grcr |
|
| 830 | _aпо кн | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||