000 01165nam0a22002531 4500
001 rc\4714408
005 20250612161838.0
021 _aRU
_b[67-46027]
035 _a(NLR Aleph) 008726169
090 _a9448498
_c9448498
100 _a20130416d1967 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay z |||||
200 1 _aТезисы докладов
_fАН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Ин-т неорган. химии. Симпозиум. "Процессы роста и структура многокристалл. слоев полупроводников". 10-14 мая 1967 г.
210 _aНовосибирск
_cБ. и.
_d1967
215 _a103 с.
_d20
606 _aПолупроводники
_xПолучение
_jТезисы докладов
_2psbo
710 1 2 _a"Процессы роста и структура многокристаллических слоев полупроводников", симпозиум (1967; Новосибирск)
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j67-3/3380
942 _cBOOK
980 _aNB