| 000 | 01530nam0a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\148480 | ||
| 005 | 20250612170003.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 008739749 | ||
| 090 |
_a9525975 _c9525975 |
||
| 100 | _a20030307d1991 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aВакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники _eУчеб. пособие _e[Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"] _fВ.В. Вислоух, Н.Я. Дривинг, Е.К. Куломзин _gГос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк. Моск. ин-т электрон. машиностроения |
|
| 210 |
_aМ. _cМоск. ин-т электрон. машиностроения _d1991 |
||
| 215 |
_a54 с. _cил. _d19 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 53 | ||
| 606 | 1 |
_aВакуумное оборудование для производства микросхем _jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы _2nlr_sh1 |
|
| 700 | 1 |
_aВислоух _bВ.Е. _gВадим Евгеньевич |
|
| 701 | 1 |
_aДривинг _bН.Я. _gНина Яновна |
|
| 701 | 1 |
_aКуломзин _bЕ.К. _gЕвгений Константинович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20050419 _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j92-4/2577 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||