| 000 | 00764nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\903129 | ||
| 005 | 20250612170822.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 008743681 | ||
| 090 |
_a9542310 _c9542310 |
||
| 100 | _a20041129d1983 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aЭллипсометрия в микроэлектронике | |
| 210 |
_aМ. _cРадио и связь _d1983 |
||
| 215 |
_a120 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 118-120 (64 назв.) | ||
| 700 | 1 |
_aРезвый _bР.Р. _gРостислав Ростиславович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20051220 _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j83-3/11583 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||