000 01029nam0a22002771 4500
001 rc\3657930
005 20250610092236.0
021 _aRU
_b[70-50074]
035 _a(NLR Aleph) 007836398
090 _a9774717
_c9774717
100 _a20130115d1970 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aКристаллизация тонких пленок
_e[Сборник статей
_fОтв. ред. акад. У.А. Арифов]
_gАН УзССР. Ин-т электроники
210 _aТашкент
_cФан
_d1970
215 _a215 с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр. в конце статей
606 _aПолупроводниковые пленки
_xПолучение
_jСборники
_2psbo
702 1 _aАрифов
_bУ.А.
_gУбай Арифович
_4340
712 0 2 _aИнститут электроники (Ташкент)
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j70-5/2261
942 _cBOOK
980 _aNB