000 02042nam2a2200349 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\010006145
005 20260405213234.0
010 _a978-5-905872-13-6
_9300
021 _aRU
_b2013-82440
_95697
035 _a(NLR Aleph) 010006145
090 _a9826302
_c9826302
100 _a20131120d2013 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z|||000yy
200 1 _aМикроинженерия магнитных устройств
_fВ.А. Васин, Е.Н. Ивашов, П.С. Кузнецов, С.В. Степанчиков
210 _d2013
_aБ. м.
215 _a204, [1] с.
_cил.
300 _aВ конце кн. авт.: Васин В.А., к.т.н., доц., Ивашов Е.Н., д.т.н., проф., Кузнецов П.С., к.т.н., Степанчиков С.В., к.т.н., доц.
313 _aдля вакуумного оборудования
320 _aБиблиогр.: с. 186-201 (127 назв.)
461 0 _1001RU\NLR\bibl\1960591
_12000#$aМикро- и наноинженерия в электронном машиностроении$eсерия из 7-и монографий$v6
_93676853
_cИвантеевка
_d2012
_nИзд-во НИИ предельных технологий
_oсерия из 7-и монографий
_tМикро- и наноинженерия в электронном машиностроении
_v6
606 1 _aВакуумное оборудование
_91226238
_3RU\NLR\AUTH\66181385
686 1 _aЗ77-5
701 1 _aВасин
_bВ.А.
_gВладимир Анатольевич
_4070
701 1 _aИвашов
_bЕ. Н.
_gЕвгений Николаевич
_4070
701 1 _4070
_8rus
_7ca
_aКузнецов
_bП. С.
_cканд. техн. наук, стр-во
_gПавел Сергеевич
_3RU\NLR\AUTH\7796285
_979211
701 1 _aСтепанчиков
_bС. В.
_gСергей Валентинович
_4070
942 _cBOOK
980 _aNB