000 01956nam0a2200325 i 4500
001 RU\NLR\BIBL_A\010461550
005 20240921223549.0
010 _a9785898474119
_920
021 _aRU
_b2014-49629
_93000
035 _a(NILC)RuMoRGB-007519422
035 _a(NLR Aleph) 010461550
090 _a9978876
_c9978876
100 _a20140912d2014 km y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa|||j|||000yy
200 1 _aВакуумно-термическое получение тонких пленок
_eучебное пособие для студентов, обучающихся по направлению подготовки "Химия, физика и механика материалов" (профиль "Функциональные материалы и наноматериалы) (бакалавриат)
_fВ. М. [т.е. М. В.] Залётин, А. Н. Васина
_gМ-во образования Московской обл., Междунар. ун-т природы, о-ва и человека "Дубна", Фак. естественных и инженерных наук, Каф. нанотехнологии и новых материалов
210 _aДубна
_cМеждунар. ун-т природы, о-ва и человека "Дубна"
_d2014
215 _a64 с.
_cил.
_d21
320 _aБиблиогр.: с. 62 (10 назв.)
606 1 _aТонкие пленки
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xНанесение в вакууме
_91835711
_3RU\NLR\AUTH\661122354
686 1 _aЗ844.13я73-1
700 1 _aЗалётин
_bМ. В.
_gМихаил Викторович
701 1 _aВасина
_bА. Н.
_gАнна Николаевна
801 0 _aRU
_bРГБ
_c20140711
_gRCR
801 1 _aRU
_bРГБ
_c20140711
_2rusmarc
942 _cBOOK
980 _aNBR