Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники, Межвуз. сб.
2001-3/13242 2001-3/13242 - 100 экз.5-7256-0273-7/[2001-21677]/русский (rus)/Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : Межвуз. сб. / М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) ; Под ред. В. В. Гусева и М. Л. Минкина.Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : Межвуз. сб. / М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : Межвуз. сб.М./МИЭТ/, 2000 ( ). - МИЭТ, 2000. - 276 с. : ил. ; 20 см.Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : Межвуз. сб. М., 2000 .
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Сборники/47/32.844.1/З844.1-06я43/Московский государственный институт электронной техники /
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Сборники/47/32.844.1/З844.1-06я43/Московский государственный институт электронной техники /