Физико-технологические принципы формирования микроэлектронных приборных структур с заданными свойствами, монография
2017-3/31487 2017-3/31487 - 30 экз.978-5-901585-00-9/[2017-79555]/русский (rus)/Физико-технологические принципы формирования микроэлектронных приборных структур с заданными свойствами : монография / М. Г. Мустафаев, Д. Г. Мустафаева, Г. А. Мустафаев ; Министерство образования и науки РФ, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет)".Физико-технологические принципы формирования микроэлектронных приборных структур с заданными свойствами : монография / М. Г. Мустафаев, Д. Г. Мустафаева, Г. А. Мустафаев.Физико-технологические принципы формирования микроэлектронных приборных структур с заданными свойствами : монография.Владикавказ/Терек/, 2017 ( ). - Терек, 2017. - 167 с. : ил., табл. ; 21 см.Физико-технологические принципы формирования микроэлектронных приборных структур с заданными свойствами : монография. Владикавказ, 2017 .
Библиогр.: с. 147-167 (319 назв.). Библиогр.: с. 147-167 (319 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Технологические процессы/Интегральные схемы -- Производство -- Физические основы/З844.15-060.6-64,0/З844.15-06/
Библиогр.: с. 147-167 (319 назв.). Библиогр.: с. 147-167 (319 назв.).Интегральные схемы -- Производство -- Технологические процессы/Интегральные схемы -- Производство -- Физические основы/З844.15-060.6-64,0/З844.15-06/