Описание RUSMARC Карточка

Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий

2004-3/14671 [2004-6640]/русский (rus)/Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий / В.В. Зенин, Ю.Е. Сегал, Б.А. Спиридонов ; М-во образования Рос. Федерации, Воронеж. гос. техн. ун-т.Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий / В.В. Зенин, Ю.Е. Сегал, Б.А. Спиридонов.Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий.Воронеж/Воронеж. гос. техн. ун-т/, 2003 ( ). - Воронеж. гос. техн. ун-т, 2003. - 168 с. : ил., табл. ; 21 см.Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий. Воронеж, 2003 .
     Библиогр. в конце гл. Библиогр. в конце гл.Полупроводниковые приборы -- Контакты -- Физико-химические процессы/Полупроводниковые приборы -- Производство/З852-060.81,07/З852-069.7-01/ Зенин, В. В., Виктор Васильевич .В. В.Виктор ВасильевичСегал, Юрий Ефимович /Спиридонов, Борис Анатольевич /