Тепловые процессы при магнетронном распылении
- 500 экз.978-5-7629-3458-9/[КН-П-25-053430]/[КН-П-25-053430]/русский/Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский ; под редакцией профессора В. И. Шаповалова ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина).Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский.Тепловые процессы при магнетронном распылении.Санкт-Петербург/Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"/, 2024 ( ). - Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2024. - 139 с. : ил., табл. ; 21 см.Тепловые процессы при магнетронном распылении. Санкт-Петербург, 2024 .
Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.). Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.).Тонкие пленки -- Магнетронное распыление -- Компьютерное моделирование/Тонкие пленки -- Тепловые свойства/COMSOL MULTIPHYSICS, пакет прикладных программ/nlr_sh2/nlr_sh1/nlr_sh2/nlr_sh2/З843.13-060.7/
Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.). Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.).Тонкие пленки -- Магнетронное распыление -- Компьютерное моделирование/Тонкие пленки -- Тепловые свойства/COMSOL MULTIPHYSICS, пакет прикладных программ/nlr_sh2/nlr_sh1/nlr_sh2/nlr_sh2/З843.13-060.7/