Фотолитография, Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. дипломир. специалистов 654300 "Проектирование и технология электрон. средств"
2004-4/14262 2004-4/14262 - 150 экз.5-7629-0454-7/[2004-6554]/русский (rus)/Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. дипломир. специалистов 654300 "Проектирование и технология электрон. средств" / Г.Ф. Баканов, Г.В. Петрова ; М-во образования РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ".Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. дипломир. специалистов 654300 "Проектирование и технология электрон. средств" / Г.Ф. Баканов, Г.В. Петрова.Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. дипломир. специалистов 654300 "Проектирование и технология электрон. средств".СПб./Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"/, 2002 ( ). - Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2002. - 32,[3] с. : ил. ; 21 см. - (Учебное пособие).Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. дипломир. специалистов 654300 "Проектирование и технология электрон. средств". СПб., 2002 .
Библиогр. в конце кн. Библиогр. в конце кн.Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-060.6я73-1/З844.15-06я73-1/
Библиогр. в конце кн. Библиогр. в конце кн.Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы/Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.15-060.6я73-1/З844.15-06я73-1/