Методы элементного анализа материалов и структур микроэлектроники, учебное пособие, для аспирантов и студентов бакалавриата и магистратуры высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнология и микросистемная техника", 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Химия, физика и механика материалов"
- 50 экз.978-5-7629-3392-6/[КН-П-25-002775]/русский (rus)/Методы элементного анализа материалов и структур микроэлектроники : учебное пособие : для аспирантов и студентов бакалавриата и магистратуры высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнология и микросистемная техника", 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Химия, физика и механика материалов" / Н. В. Андреева, М. А. Усикова ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина).Методы элементного анализа материалов и структур микроэлектроники : учебное пособие : для аспирантов и студентов бакалавриата и магистратуры высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнология и микросистемная техника", 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Химия, физика и механика материалов" / Н. В. Андреева, М. А. Усикова.Методы элементного анализа материалов и структур микроэлектроники : учебное пособие : для аспирантов и студентов бакалавриата и магистратуры высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнология и микросистемная техника", 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Химия, физика и механика материалов".Санкт-Петербург/Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"/, 2024 ( ). - Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2024. - 162, [1] с. : ил., табл., цв. ил. ; 21 см.Методы элементного анализа материалов и структур микроэлектроники : учебное пособие : для аспирантов и студентов бакалавриата и магистратуры высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнология и микросистемная техника", 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Химия, физика и механика материалов". Санкт-Петербург, 2024 .
Библиогр. в конце разд. Библиогр. в конце разд.Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Материалы -- Спектроскопия -- Учебные издания для высших учебных заведений/Наноструктуры -- Спектроскопические исследования -- Учебные издания для высших учебных заведений/Микроэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1я73-1/
Библиогр. в конце разд. Библиогр. в конце разд.Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Материалы -- Спектроскопия -- Учебные издания для высших учебных заведений/Наноструктуры -- Спектроскопические исследования -- Учебные издания для высших учебных заведений/Микроэлектроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1я73-1/