Вакуумная ионно-плазменная обработка, учебное пособие, для студентов высших учебных заведений
русский (rus)/Вакуумная ионно-плазменная обработка : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений / А.А. Ильин, В.В. Плихунов, Л.М. Петров, В.С. Спектор ; Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "МАТИ" - Рос. гос. технол. ун-т им. К.Э. Циолковского.Вакуумная ионно-плазменная обработка : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений / А.А. Ильин, В.В. Плихунов, Л.М. Петров, В.С. Спектор.Вакуумная ионно-плазменная обработка : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений.Москва/Издательский центр МАТИ/, 2009 ( ). - Издательский центр МАТИ, 2009. - ; 21 см.Вакуумная ионно-плазменная обработка : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений. Москва, 2009 . - .Металлы -- Ионно-плазменная обработка в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений/К557я73-1/