Основы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой, научное издание
2010-8/731 2010-8/731 - 26 экз.978-5-85101-091-0/[2009-109296]/русский (rus)/Основы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой : научное издание / Соколов Л. В.Основы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой : научное издание / Соколов Л. В.Основы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой : научное издание.Жуковский/Петит/, 2009 ( ). - Петит, 2009. - 167 с. : ил., табл. ; 29 см.Основы проектирования кремниевых микроэлектромеханических интегральных тензопреобразователей давления и микросистем с профилированной трехмерной мембранной структурой : научное издание. Жуковский, 2009 .
Библиогр.: с. 141-163 (226 назв.). Библиогр.: с. 141-163 (226 назв.).Преобразователи давления микроэлектромеханические -- Проектирование/О567-04,07/З323-503-02/
Библиогр.: с. 141-163 (226 назв.). Библиогр.: с. 141-163 (226 назв.).Преобразователи давления микроэлектромеханические -- Проектирование/О567-04,07/З323-503-02/