Техническая механика микросистем, учебное пособие, для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"
2011-5/6212 2011-5/6212 Т1 З844.1/Т-382 У З844.1/Т-382 - 500 экз.978-5-9963-0636-7/[2011-54400]/русский/Техническая механика микросистем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / [Тимофеев В.Н. и др.] ; под ред. д.т.н., проф. В.Н. Тимофеева.Техническая механика микросистем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / [Тимофеев В.Н. и др.].Техническая механика микросистем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника".Москва/Бином. Лаборатория знаний/, 2011 ( ). - Бином. Лаборатория знаний, 2011. - 176 с. : ил. ; 22 см.Техническая механика микросистем : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Москва, 2011 .
Библиогр.: с. 173-174 (19 назв.). Библиогр.: с. 173-174 (19 назв.).Микроэлектромеханические приборы -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-01я73-1/
Библиогр.: с. 173-174 (19 назв.). Библиогр.: с. 173-174 (19 назв.).Микроэлектромеханические приборы -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-01я73-1/