Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине " Низкотемпературные прцессы в технологии наноэлектроники и наносистем"
[2011-82142]/русский/Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине " Низкотемпературные прцессы в технологии наноэлектроники и наносистем" .Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине " Низкотемпературные прцессы в технологии наноэлектроники и наносистем".Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине " Низкотемпературные прцессы в технологии наноэлектроники и наносистем".Москва/МИЭТ/, 2011 ( ). - МИЭТ, 2011. - ; 20 см.Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине " Низкотемпературные прцессы в технологии наноэлектроники и наносистем". Москва, 2011 .