Зарубежная электронная техника. 1991, 9(364): Лазерные методы формирования КНД структур и технология трехмерных СБИС
русский (rus)/Лазерные методы формирования КНД структур и технология трехмерных СБИС / В.А. Лабунов.Лазерные методы формирования КНД структур и технология трехмерных СБИС / В.А. Лабунов.Лазерные методы формирования КНД структур и технология трехмерных СБИС.Б. м./, 1991 ( ). - 1991.Лазерные методы формирования КНД структур и технология трехмерных СБИС. Б. м., 1991 .Зарубежная электронная техника : Науч.-техн. сборник / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"1991, 9(364)