Источники многозарядных ионов с катодным распылением твердого рабочего вещества
русский (rus)/английский (eng)/Источники многозарядных ионов с катодным распылением твердого рабочего вещества / В.Б. Кутнер и др.Источники многозарядных ионов с катодным распылением твердого рабочего вещества / В.Б. Кутнер и др.Источники многозарядных ионов с катодным распылением твердого рабочего вещества.Б. м./, 1978 ( ). - 1978.Источники многозарядных ионов с катодным распылением твердого рабочего вещества. Б. м., 1978 .