Описание RUSMARC Карточка

Технология материалов микро- и наноэлектроники

- 2000 экз.9785768107604/[2013-28672]/русский (rus)/Технология материалов микро- и наноэлектроники / [Л.В. Кожитов, С.Г. Емельянов, В.Г. Косушкин и др.] ; Минобрнауки России, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Юго-Зап. гос. ун-т".Технология материалов микро- и наноэлектроники / [Л.В. Кожитов, С.Г. Емельянов, В.Г. Косушкин и др.].Технология материалов микро- и наноэлектроники. - 2-е изд., перераб. и испр.Курск/Юго-Западный государственный университет/, 2012 ( ). - Юго-Западный государственный университет, 2012. - 860, [1] с. : ил. ; 21 см.Технология материалов микро- и наноэлектроники. 2-е изд., перераб. и испр.Курск, 2012 .
     Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр. в конце глав. Библиогр. в конце глав.Микроэлектроника/Наноэлектроника/Полупроводники -- Производство/З843.308/З844.1-06/Кожитов, Лев Васильевич /Емельянов, Сергей Геннадьевич (д-р техн. наук; 1964-)/Косушкин, Владимир Георгиевич /Юго-Западный государственный университет (Курск)/
Связаться с нами:

тел.: 8-800-100-01-96 , 8(812)310-71-37

e-mail: office@nlr.ru