Механизм влияния буферных газов на скорость фотостимулированного лазерно-химического осаждения из паров карбонилов переходных металлов
89-6/1502 89-6/514 русский (rus)/Механизм влияния буферных газов на скорость фотостимулированного лазерно-химического осаждения из паров карбонилов переходных металлов .Механизм влияния буферных газов на скорость фотостимулированного лазерно-химического осаждения из паров карбонилов переходных металлов.Механизм влияния буферных газов на скорость фотостимулированного лазерно-химического осаждения из паров карбонилов переходных металлов.Черноголовка/Б. и./, 1988 ( ). - Б. и., 1988. - 22 с. : ил. ; 22 см. - (Препринт / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов).Механизм влияния буферных газов на скорость фотостимулированного лазерно-химического осаждения из паров карбонилов переходных металлов. Черноголовка, 1988 .
Библиогр.: с. 21-22. Библиогр.: с. 21-22.
Библиогр.: с. 21-22. Библиогр.: с. 21-22.