Инженерная микроэлектроника, Физ. основы процессов пр-ва интегр. микросхем, Учеб. пособие
80-4/10084 русский (rus)/Инженерная микроэлектроника : Физ. основы процессов пр-ва интегр. микросхем : Учеб. пособие.Инженерная микроэлектроника : Физ. основы процессов пр-ва интегр. микросхем : Учеб. пособие.Инженерная микроэлектроника : Физ. основы процессов пр-ва интегр. микросхем : Учеб. пособие.Ленинград/ЛЭТИ/, 1979 ( ). - ЛЭТИ, 1979. - 61 с. : ил. ; 20 см.Инженерная микроэлектроника : Физ. основы процессов пр-ва интегр. микросхем : Учеб. пособие. Ленинград, 1979 .
В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина). - Библиогр.: с. 60. Библиогр.: с. 60.
В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина). - Библиогр.: с. 60. Библиогр.: с. 60.