ПЕРСПЕКТИВЫ применения газового разряда в технологии интегральных схем, Метод. рекомендации
88-4/21197 русский (rus)/ПЕРСПЕКТИВЫ применения газового разряда в технологии интегральных схем : Метод. рекомендации / О-во "Знание" УССР, [РДЭНТП ; Подгот. к. т. н. Н.В. Богачем и В.В. Ледяевым].ПЕРСПЕКТИВЫ применения газового разряда в технологии интегральных схем : Метод. рекомендации / О-во "Знание" УССР, [РДЭНТП.ПЕРСПЕКТИВЫ применения газового разряда в технологии интегральных схем : Метод. рекомендации.Киев/О-во "Знание" УССР/РДЭНТП/, 1987 ( ). - О-во "Знание" УССР, РДЭНТП, 1987. - 20 с. : ил. ; 20 см. - (Достижения научно-технического прогресса и передовой производственный опыт в отраслях народного хозяйства). - (В помощь лектору и специалисту).ПЕРСПЕКТИВЫ применения газового разряда в технологии интегральных схем : Метод. рекомендации. Киев, 1987 .
Библиогр.: с. 20. Библиогр.: с. 20."Знание", общество УССР (Киев)/
Библиогр.: с. 20. Библиогр.: с. 20."Знание", общество УССР (Киев)/