Ядерное легирование полупроводников
83-4/20477 русский (rus)/Ядерное легирование полупроводников / [Греськов И.М., Соловьев С.П., Харченко В.А.].Ядерное легирование полупроводников / [Греськов И.М., Соловьев С.П., Харченко В.А.].Ядерное легирование полупроводников.М./НИИТЭхим/, 1982 ( ). - НИИТЭхим, 1982. - 34 с. : ил. ; 20 см. - (Химическая промышленность / М-во хим. пром-сти, НИИ техн.-экон. исслед.).Ядерное легирование полупроводников. М., 1982 .
Авт. указаны на 2-й с. обл. - Библиогр.: с. 32-34 (22 назв.). Библиогр.: с. 32-34 (22 назв.).НИИ техн.-экон. исследований М-ва хим. промышленности СССР /
Авт. указаны на 2-й с. обл. - Библиогр.: с. 32-34 (22 назв.). Библиогр.: с. 32-34 (22 назв.).НИИ техн.-экон. исследований М-ва хим. промышленности СССР /