Элионная технология в микро- и наноиндустрии, курс лекций
2008-3/34768 2008-3/34768 [2008-79531]/русский (rus)/Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г.Д. Кузнецов, А.Р. Кушхов, Б.А. Билалов ; Федер. агентство по образованию, Гос. технол. ун-т Моск. ин-т стали и сплавов, МИСиС, Каф. технологии материалов электроники.Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г.Д. Кузнецов, А.Р. Кушхов, Б.А. Билалов.Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций.Москва/Издательский дом МИСиС/, 2008 ( ). - Издательский дом МИСиС, 2008. - 155 с. : ил. ; 21 см.Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций. Москва, 2008 .
Библиогр.: с. 155. Библиогр.: с. 155.Тонкие пленки -- Осаждение -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-2/
Библиогр.: с. 155. Библиогр.: с. 155.Тонкие пленки -- Осаждение -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.13-060.7я73-2/