Электронолитография
82-4/32308 русский (rus)/Электронолитография .Электронолитография.Электронолитография.М./Знание/, 1982 ( ). - Знание, 1982. - 64 с. : ил. ; 20 см. - (Новое в жизни, науке, технике ; 8).Электронолитография. М., 1982 .
Библиогр.: с. 64 (7 назв.). Библиогр.: с. 64 (7 назв.).
Библиогр.: с. 64 (7 назв.). Библиогр.: с. 64 (7 назв.).