Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов, Вопр. электроники, Межвуз. сб.
83-5/877 русский/Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов : Вопр. электроники : Межвуз. сб. / Кишин. политехн. ин-т им. С. Лазо ; [Редкол.: И.Ф. Клисторин (отв. ред.) и др.].Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов : Вопр. электроники : Межвуз. сб. / Кишин. политехн. ин-т им. С. Лазо.Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов : Вопр. электроники : Межвуз. сб.Кишинев/Штиинца/, 1982 ( ). - Штиинца, 1982. - 142 с. : ил. ; 22 см.Полупроводниковые структуры и системы контроля технологических процессов : Вопр. электроники : Межвуз. сб. Кишинев, 1982 .
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Кишиневский политехнический институт им. С. Лазо /
Библиогр. в конце ст. Библиогр. в конце ст.Кишиневский политехнический институт им. С. Лазо /