Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры, Конспект лекций
80-4/27350 русский (rus)/Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры : Конспект лекций / [Н.Е. Скляров, В.В. Соловьев, Ю.А. Тимофеев, В.С. Пархоменко ; Под ред. К.А. Сапожкова].Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры : Конспект лекций / [Н.Е. Скляров, В.В. Соловьев, Ю.А. Тимофеев, В.С. Пархоменко.Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры : Конспект лекций.Пенза/ППИ/, 1980 ( ). - ППИ, 1980. - 68 с. : ил. ; 20 см.Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры : Конспект лекций. Пенза, 1980 .
Авт. указаны на обороте тит. л. - В надзаг.: Пенз. политехн. ин-т.Пензенский политехнический ин-т /
Авт. указаны на обороте тит. л. - В надзаг.: Пенз. политехн. ин-т.Пензенский политехнический ин-т /