Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС
90-4/164 русский (rus)/Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС .Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС.Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС.Киев/ИК/, 1989 ( ). - ИК, 1989. - [1], 20 с. : ил. ; 20 см. - (Препринт / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В.М. Глушкова ; 89-46).Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС. Киев, 1989 .
Библиогр.: с. 20 (12 назв.). Библиогр.: с. 20 (12 назв.).
Библиогр.: с. 20 (12 назв.). Библиогр.: с. 20 (12 назв.).