Аппаратура для получения эпитаксиальных слоев элементарных полупроводников из газовой среды
П10/5594 русский (rus)/Аппаратура для получения эпитаксиальных слоев элементарных полупроводников из газовой среды / [И.В. Гранков, В.М. Гуревич, Л.С. Иванов и др.].Аппаратура для получения эпитаксиальных слоев элементарных полупроводников из газовой среды / [И.В. Гранков, В.М. Гуревич, Л.С. Иванов и др.].Аппаратура для получения эпитаксиальных слоев элементарных полупроводников из газовой среды.Москва/ЦНИИцветмет экономики и информ./, 1979 ( ). - ЦНИИцветмет экономики и информ., 1979. - 40 с. : ил. ; 21 см. - (Обзорная информация / ЦНИИ экономики и информ. цв. металлургии ; Вып. 3).Аппаратура для получения эпитаксиальных слоев элементарных полупроводников из газовой среды. Москва, 1979 .
Библиогр.: с. 38-40. Библиогр.: с. 38-40.
Библиогр.: с. 38-40. Библиогр.: с. 38-40.