Прецизионные измерения качества поверхностей деталей с помощью оптоэлектронных датчиков на основе полупроводниковых лазеров
89-4/16401 русский (rus)/Прецизионные измерения качества поверхностей деталей с помощью оптоэлектронных датчиков на основе полупроводниковых лазеров / В.Н. Морозов, П.В. Мясников, С.Е. Солодов.Прецизионные измерения качества поверхностей деталей с помощью оптоэлектронных датчиков на основе полупроводниковых лазеров / В.Н. Морозов, П.В. Мясников, С.Е. Солодов.Прецизионные измерения качества поверхностей деталей с помощью оптоэлектронных датчиков на основе полупроводниковых лазеров.М./ФИАН/, 1989 ( ). - ФИАН, 1989. - 38 с. : ил. ; 20 см. - (Препринт / Физ. ин-т им. П.Н. Лебедева АН СССР. Отд. квантовой радиофизики ; № 134).Прецизионные измерения качества поверхностей деталей с помощью оптоэлектронных датчиков на основе полупроводниковых лазеров. М., 1989 .
Библиогр.: с. 38. Библиогр.: с. 38.
Библиогр.: с. 38. Библиогр.: с. 38.