Диффузионные процессы в производстве силовых полупроводниковых приборов
80-6/6753 русский (rus)/Диффузионные процессы в производстве силовых полупроводниковых приборов .Диффузионные процессы в производстве силовых полупроводниковых приборов.Диффузионные процессы в производстве силовых полупроводниковых приборов.М./Информэлектро/, 1980 ( ). - Информэлектро, 1980. - 47 с. : ил. ; 21 см. - (Обзорная информация / ВНИИ информ. и техн.-экон. исслед. в электротехнике).Диффузионные процессы в производстве силовых полупроводниковых приборов. М., 1980 .
Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 44-46. Библиогр.: с. 44-46.ВНИИ информации и техн.-экон. исследований в электротехнике /
Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 44-46. Библиогр.: с. 44-46.ВНИИ информации и техн.-экон. исследований в электротехнике /