Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике, Материалы Первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.)
П11/2650 [Ч1387-70]/русский (rus)/Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике : Материалы Первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.) / Науч. ред. канд. хим. наук С.А. Кутолин.Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике : Материалы Первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.) / Науч. ред. канд. хим. наук С.А. Кутолин.Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике : Материалы Первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.).Москва/Б. и./, 1969 ( ). - Б. и., 1969. - 124 с. ; 20 см. - (Министерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Труды конференций по электронной технике ; Вып. 2).Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике : Материалы Первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.). Москва, 1969 .
Отпеч. множит. аппаратом.
Отпеч. множит. аппаратом.