Легирование поверхности твердых тел из плазмы оптического пробоя в жидкости и газе
84-6/3317 русский (rus)/Легирование поверхности твердых тел из плазмы оптического пробоя в жидкости и газе / В.Н. Анисимов, Р.В. Арутюнян, В.Ю. Баранов и др.Легирование поверхности твердых тел из плазмы оптического пробоя в жидкости и газе / В.Н. Анисимов, Р.В. Арутюнян, В.Ю. Баранов и др.Легирование поверхности твердых тел из плазмы оптического пробоя в жидкости и газе.М./ИАЭ/, 1984 ( ). - ИАЭ, 1984. - [1], 17 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Ин-т атом. энергии им. И.В. Курчатова ; ИАЭ-3931/9).Легирование поверхности твердых тел из плазмы оптического пробоя в жидкости и газе. М., 1984 .
Библиогр.: с. 16-17. Библиогр.: с. 16-17.
Библиогр.: с. 16-17. Библиогр.: с. 16-17.