Основные закономерности эпитаксии силицидов на начальных стадиях роста
85-4/11988 русский (rus)/Основные закономерности эпитаксии силицидов на начальных стадиях роста / Александров Л.Н., Богомолов Б.К., Герасименко Н.Н.Основные закономерности эпитаксии силицидов на начальных стадиях роста / Александров Л.Н., Богомолов Б.К., Герасименко Н.Н.Основные закономерности эпитаксии силицидов на начальных стадиях роста.Новосибирск/Ин-т физики полупроводников/, 1984 ( ). - Ин-т физики полупроводников, 1984. - [2], 57 с. : ил. ; 19 см. - (Препринт / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; 10-84).Основные закономерности эпитаксии силицидов на начальных стадиях роста. Новосибирск, 1984 .
Библиогр.: с. 52-57. Библиогр.: с. 52-57.
Библиогр.: с. 52-57. Библиогр.: с. 52-57.