Использование C-V метода для обнаружения аморфных включений в кремнии
84-4/22132 русский (rus)/Использование C-V метода для обнаружения аморфных включений в кремнии .Использование C-V метода для обнаружения аморфных включений в кремнии.Использование C-V метода для обнаружения аморфных включений в кремнии.Новосибирск/Ин-т физики полупроводников/, 1984 ( ). - Ин-т физики полупроводников, 1984. - 19 с. : ил. ; 18 см. - (Препринт / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; 1-84).Использование C-V метода для обнаружения аморфных включений в кремнии. Новосибирск, 1984 .
Библиогр.: с. 19. Библиогр.: с. 19.
Библиогр.: с. 19. Библиогр.: с. 19.