Физико-химические основы микроэлектроники, Свойства тонких пленок, Учеб. пособие
94-4/9036 - 150 экз.5-230-10302-7/русский (rus)/Физико-химические основы микроэлектроники : Свойства тонких пленок : Учеб. пособие / В.Г. Нефедов, Ю.С. Кулешов, О.Б. Гусев ; Гос. ком. РФ по высш. образованию. С.-Петерб. гос. акад. аэрокосм. приборостроения.Физико-химические основы микроэлектроники : Свойства тонких пленок : Учеб. пособие / В.Г. Нефедов, Ю.С. Кулешов, О.Б. Гусев.Физико-химические основы микроэлектроники : Свойства тонких пленок : Учеб. пособие.СПб./СПбГААП/, 1993 ( ). - СПбГААП, 1993. - 50 с. : ил. ; 20 см.Физико-химические основы микроэлектроники : Свойства тонких пленок : Учеб. пособие. СПб., 1993 .
Библиогр.: с. 49. Библиогр.: с. 49.
Библиогр.: с. 49. Библиогр.: с. 49.