Технология ионного легирования
74-2/2164 [[74-82134]]/русский (rus)/Технология ионного легирования / Под ред. С. Намбы ; Пер. с яп. В.Ф. Овчарова ; Под ред. [и с предисл.] проф. П.В. Павлова.Технология ионного легирования / Под ред. С. Намбы.Технология ионного легирования.Москва/Сов. радио/, 1974 ( ). - Сов. радио, 1974. - 158 с. : ил. ; 16 см.Технология ионного легирования. Москва, 1974 .
Список лит.: с. 140-156 (244 назв.). Список лит.: с. 140-156 (244 назв.).Полупроводники -- Легирование ионное/psbo/
Список лит.: с. 140-156 (244 назв.). Список лит.: с. 140-156 (244 назв.).Полупроводники -- Легирование ионное/psbo/