По материалам VI Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 15-17 окт. 2002 г., [Сб. докл. и ст.]
П7/2480 [2004-32284п]/русский/По материалам VI Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 15-17 окт. 2002 г. : [Сб. докл. и ст.].По материалам VI Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 15-17 окт. 2002 г. : [Сб. докл. и ст.].По материалам VI Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 15-17 окт. 2002 г. : [Сб. докл. и ст.].Н. Новгород/Изд-во ННГУ/, 2001 ( ). - Изд-во ННГУ, 2001. - 209 с. : ил. ; 24 см. - (Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского, 1811-5926 ; Вып. 1(6)).По материалам VI Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 15-17 окт. 2002 г. : [Сб. докл. и ст.]. Н. Новгород, 2001 .
Библиогр. в конце докл. Библиогр. в конце докл.Ионная имплантация -- Съезды, совещания и т.п./В373.1я431/ "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", всероссийский семинар ( 6; 2002; Нижний Новгород ).
Библиогр. в конце докл. Библиогр. в конце докл.Ионная имплантация -- Съезды, совещания и т.п./В373.1я431/ "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", всероссийский семинар ( 6; 2002; Нижний Новгород ).