Современные технологические процессы в микроэлектронике. Ч. 4: Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами (Запись № 6717457)

Подробности
000 -МАРКЕР
контрольное поле 02076nam2a22002531 4500
001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ
контрольное поле rc\1001308
005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ
контрольное поле 20250622104330.0
035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА
Идентификатор записи (NLR Aleph) 006246954
100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ
Данные общей обработки 20041129d1981 |||y0rusy50 ca
101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА
Язык текста, звукозаписи и т.д. русский
102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА
Страна публикации Российская Федерация
105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ
Кодированные данные о монографическом текстовом документе a |||||||||
200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ
Основное заглавие Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами
Первые сведения об ответственности С.В. Грушецкий, А.П. Достенко
210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР.
Дата издания, распространения и т.д. 1981
Место издания, распространения и т.д. Б. м.
215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА
Специфическое обозначение материала и объем 49 с.
Другие сведения о физической характеристике ил.
320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ
Текст примечания Библиогр.: с. 45-49
461 #0 - УРОВЕНЬ НАБОРА
Встроенное поле 001rc\1001307
-- 2001#$aСовременные технологические процессы в микроэлектронике$eМетод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648$fМ-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратуры$vЧ. 4
Системный номер (АБИС) связанной записи 6717450
Место публикации Минск
Дата публикации 1981
Первые сведения об ответственности М-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратуры
Имя издателя, распространителя и т.д. МРТИ
Сведения, относящиеся к заглавию Метод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648
Заглавие Современные технологические процессы в микроэлектронике
Номер тома Ч. 4
701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ
Начальный элемент ввода Грушецкий
Часть имени, кроме начального элемента ввода С.В.
Расширение инициалов личного имени Святослав Васильевич
801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация NLR
Правила каталогизации psbo
801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ
Страна Российская Федерация
Организация ELAR
Источник данных rusmarc
852 ## - МЕСТОНАХОЖДЕНИЕ И ШИФР ХРАНЕНИЯ
Идентификатор организации NLR
Шифр хранения (Call Number) 82-4/29112
942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС)
Тип экземпляра АБИС Книга
980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ
Название коллекции Национальная библиография
Экземпляры
Тип экземпляра Дата поступления Библиотека постоянного хранения Библиотека текущего хранения Место хранения Шифр хранения Штрих-код Статус экземпляра
Книга 26.10.2013 РНБ (Московский) РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года 82-4/29112 6246954-10