Подробности
| 000 -МАРКЕР |
| контрольное поле |
02076nam2a22002531 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ |
| контрольное поле |
rc\1001308 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ |
| контрольное поле |
20250622104330.0 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА |
| Идентификатор записи |
(NLR Aleph) 006246954 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ |
| Данные общей обработки |
20041129d1981 |||y0rusy50 ca |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. |
русский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА |
| Страна публикации |
Российская Федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе |
a ||||||||| |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ |
| Основное заглавие |
Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами |
| Первые сведения об ответственности |
С.В. Грушецкий, А.П. Достенко |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. |
| Дата издания, распространения и т.д. |
1981 |
| Место издания, распространения и т.д. |
Б. м. |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА |
| Специфическое обозначение материала и объем |
49 с. |
| Другие сведения о физической характеристике |
ил. |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ |
| Текст примечания |
Библиогр.: с. 45-49 |
| 461 #0 - УРОВЕНЬ НАБОРА |
| Встроенное поле |
001rc\1001307 |
| -- |
2001#$aСовременные технологические процессы в микроэлектронике$eМетод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648$fМ-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратуры$vЧ. 4 |
| Системный номер (АБИС) связанной записи |
6717450 |
| Место публикации |
Минск |
| Дата публикации |
1981 |
| Первые сведения об ответственности |
М-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратуры |
| Имя издателя, распространителя и т.д. |
МРТИ |
| Сведения, относящиеся к заглавию |
Метод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648 |
| Заглавие |
Современные технологические процессы в микроэлектронике |
| Номер тома |
Ч. 4 |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
| Начальный элемент ввода |
Грушецкий |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
С.В. |
| Расширение инициалов личного имени |
Святослав Васильевич |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
| Страна |
Российская Федерация |
| Организация |
NLR |
| Правила каталогизации |
psbo |
| 801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
| Страна |
Российская Федерация |
| Организация |
ELAR |
| Источник данных |
rusmarc |
| 852 ## - МЕСТОНАХОЖДЕНИЕ И ШИФР ХРАНЕНИЯ |
| Идентификатор организации |
NLR |
| Шифр хранения (Call Number) |
82-4/29112 |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) |
| Тип экземпляра АБИС |
Книга |
| 980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ |
| Название коллекции |
Национальная библиография |