-
Орлов А. М. Анатолий Михайлович
([200] ИМЯ ЛИЦА)
Д-р техн. наук, проф., зав. Каф. физики и технологии интегральных микросхем Физико-техн. фак. Ульяновского гос. ун-та, акад. РАЕН. Обл. науч. интересов: фотолюминесценция, разрушение слоев металлизации интегральных микросхем, ультразвуковые колебания полупроводников при нагреве. Соавтор электр. учебных курсов по полупроводникам..
Системный номер: 81424