Подробности: Ионная модификация функциональных материалов , учебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 "Электроника и наноэлектроника", 200100 "Приборостроение"

Книга

Ионная модификация функциональных материалов : учебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 "Электроника и наноэлектроника", 200100 "Приборостроение" / Д. А. Зацепин, И. А. Вайнштейн, С. О. Чолах ; М-во образования и науки Российской Федерации, Уральский федеральный ун-т им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, Физико-технологический ин-т

Автор: Зацепин, Дмитрий АнатольевичАвтор (Альтер.): Вайнштейн, Илья Александрович ;
Чолах, Сеиф ОсмановичЯзык: русский.Выходные данные: Екатеринбург : Уральский федеральный ун-т, 2014Физическая характеристика: 104 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785321023594 Библиография: Библиогр.: с. 92-95.Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Ионная имплантация -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З843.308я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: Книга

Нет реальных экземпляров для этой записи

Библиогр.: с. 92-95