Высокомощное распыление : [монография] / В. И. Шаповалов ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2016Физическая характеристика: 150 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 9785762920698 Библиография: Библиогр.: с. 111-148 (453 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Распыление Другие классификации: ( rubbk ) З844.14-060.7-1,0 ; ( rubbk ) З843.310.8,0 ; З843.13-060.7 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Изложены основные особенности осаждения пленок методами высокомощного распыления.
Библиогр.: с. 111-148 (453 назв.)