Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники : учебное пособие; [по направлениям 11.03.04 "Электроника и Наноэлектроника" и 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника"] / А. И. Максимов, О. А. Александрова, Е. В. Мараева ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : ЛЭТИ, 2018Физическая характеристика: 123 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 9785762923439 Библиография: Библиогр.: с. 121 (24 назв.).Предметная рубрика - Тема: Электронные приборы -- Материалы -- Физико-химические свойства -- Учебные издания для высших учебных заведений | Полупроводники -- Производство -- Физико-химические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Полупроводники -- Твердые растворы -- Физические свойства -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З85-03я73-1 ; З843.308я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 121 (24 назв.)